中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室周常河、賈偉等人近期成功研制出高精度長程光柵的加工裝置，其主要優(yōu)點(diǎn)是速度快、精度高。利用該裝置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多種周期的高精度光柵。研制出的5微米周期光柵長度達(dá)到210mm，周期均勻性實(shí)驗(yàn)控制精度優(yōu)于亞納米級(jí)。該裝置可以拓展加工米級(jí)光柵甚至更長光柵，研制的高精度長程光柵將顯著提高我國在此領(lǐng)域的技術(shù)水平。

光柵尺是通過物體移動(dòng)時(shí)，采用莫爾條紋或相關(guān)技術(shù)，通過移動(dòng)光柵的計(jì)數(shù)，實(shí)現(xiàn)精密測量的技術(shù)，可以看作觀測物體精密移動(dòng)的“眼睛”。光柵尺以其小巧簡單的結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工，電控移動(dòng)平臺(tái)等精密移動(dòng)測量，其精度直接決定了精密機(jī)床的加工水平和精密移動(dòng)平臺(tái)的水平。光柵尺的核心部件就是高精度光柵，但高精度的光柵國外對(duì)我國實(shí)行禁運(yùn)，特別是具有納米精度的長程光柵，是我國高精度光柵尺產(chǎn)業(yè)必須解決的關(guān)鍵難題，也是目前納米制造技術(shù)面臨大尺度納米加工精度的極大挑戰(zhàn)。本次在高精度長程光柵研制方面取得的突破使得我國具有了制造高精度光柵尺光柵的能力，對(duì)我國機(jī)床高精度加工及精密移動(dòng)平臺(tái)等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有積極推動(dòng)作用。

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研制成功的高精度長程光柵照片：上圖：(a) 光柵長度210mm；下圖：(b)顯微圖片，光柵周期5μm，周期均勻性實(shí)驗(yàn)控制精度優(yōu)于0.03nm。