中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室周常河、賈偉等人近期成功研制出高精度長(zhǎng)程光柵的加工裝置，其主要優(yōu)點(diǎn)是速度快、精度高。利用該裝置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多種周期的高精度光柵。研制出的5微米周期光柵長(zhǎng)度達(dá)到210mm，周期均勻性實(shí)驗(yàn)控制精度優(yōu)于亞納米級(jí)。該裝置可以拓展加工米級(jí)光柵甚至更長(zhǎng)光柵，研制的高精度長(zhǎng)程光柵將顯著提高我國(guó)在此領(lǐng)域的技術(shù)水平。

光柵尺是通過(guò)物體移動(dòng)時(shí)，采用莫爾條紋或相關(guān)技術(shù)，通過(guò)移動(dòng)光柵的計(jì)數(shù)，實(shí)現(xiàn)精密測(cè)量的技術(shù)，可以看作觀測(cè)物體精密移動(dòng)的“眼睛”。光柵尺以其小巧簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工，電控移動(dòng)平臺(tái)等精密移動(dòng)測(cè)量，其精度直接決定了精密機(jī)床的加工水平和精密移動(dòng)平臺(tái)的水平。光柵尺的核心部件就是高精度光柵，但高精度的光柵國(guó)外對(duì)我國(guó)實(shí)行禁運(yùn)，特別是具有納米精度的長(zhǎng)程光柵，是我國(guó)高精度光柵尺產(chǎn)業(yè)必須解決的關(guān)鍵難題，也是目前納米制造技術(shù)面臨大尺度納米加工精度的極大挑戰(zhàn)。本次在高精度長(zhǎng)程光柵研制方面取得的突破使得我國(guó)具有了制造高精度光柵尺光柵的能力，對(duì)我國(guó)機(jī)床高精度加工及精密移動(dòng)平臺(tái)等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有積極推動(dòng)作用。

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研制成功的高精度長(zhǎng)程光柵照片：上圖：(a) 光柵長(zhǎng)度210mm；下圖：(b)顯微圖片，光柵周期5μm，周期均勻性實(shí)驗(yàn)控制精度優(yōu)于0.03nm。