利用國外領(lǐng)先公司taylor-hobson的光學(xué)輪廓檢測儀器,依據(jù)相關(guān)算法，編寫相關(guān)軟件，對離軸非球面進(jìn)行輪廓檢測，該方法不僅對于可以利用干涉儀加補(bǔ)償器檢測的凹離軸非球面進(jìn)行檢測，對于難于用干涉儀加補(bǔ)償器檢測的凸離軸非球面，同樣適用。該方法已經(jīng)在同軸非球面的輪廓檢測上得到驗(yàn)證，Rt，Ra值與taylor-hobson自帶的分析軟件分析結(jié)果一致。檢測的離軸非球面已應(yīng)用于實(shí)際的產(chǎn)品。QQ:1552469197   ]u-SL md