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    [求助]光學(xué)薄膜實際膜厚測量 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 前天 09:07
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    關(guān)鍵詞: 薄膜鍍膜材料曲線
    鍍的AR膜,想要測試薄膜的實際鍍膜厚度和實際的材料折射率;實際鍍膜厚度使用的臺階儀進行測量的,但測量出來的曲線不理想,差距也很大,想問下大家都是用的什么設(shè)備來測試的啊~ 5t~p99#?  
    本來是準(zhǔn)備實際膜厚出來以后再用橢偏儀測試實際的材料折射率的,結(jié)果第一步就卡住了~ H8'_.2vwX  
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 前天 11:31
    鍍厚一點的單層然后測,再和水晶膜厚比對一下。 ;OynkZs)  
    -<Zs7(  
    實際上層和層之間是有過渡的, yYM_  
    層開始和結(jié)束的時候因為速率不穩(wěn)會也導(dǎo)致折射率變化。 NRgNW1#  
    所以求個大概就可以了。 dwAFJhgh  
    離線morningtech
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 前天 13:14
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    版主說的對,先做單層膜。 lYq4f|5H}m  
    用光譜儀測光譜,然后用光學(xué)薄膜軟件模擬出折射率和厚度。大多數(shù)這樣做。 k{q4Zz[  
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 前天 13:52
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:鍍厚一點的單層然后測,再和水晶膜厚比對一下。
    實際上層和層之間是有過渡的, v~2$9x!9  
    層開始和結(jié)束的時候因為速率不穩(wěn)會也導(dǎo)致折射率變化。 zdoJ+zRtK  
    所以求個大概就可以了。 Sj$XRkbj:  
    ....... (2025-02-20 11:31)  J4Ix\r_