主要用途 )LKJfoo PY  
k]r4b`x`  
觀察樣品表面微觀形貌，進行尺寸及深度進行測量，能譜元素分析。 yc3/5]E&  
-`\^_nVC  
性能參數(shù) &Lt$~}*&6  
j_}:=3  
a)二次電子分辨率：1.0nm（加速電壓15kV，WD=4mm） N1c0>{  
+3-5\t`  
b)放大倍數(shù) 100~800000（照片倍率）； H9ES|ZJs  
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            400~2000000（實際顯示倍率） 9^n0<(99b  
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應(yīng)用范圍 j?|V
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j][&o-Ev  
1.提供表面及橫截面微細(xì)結(jié)構(gòu)觀察及分析； 4Ps;Cor+  
~?aFc)  
2.對多層結(jié)構(gòu)樣品提供精準(zhǔn)的膜厚量測及標(biāo)示；
>%92,hg  
7~Inxk;  
3.借由低能量的電子束掃描做被動式影像對比(PVC)對于不良漏電或接觸不良的組件損壞可以精準(zhǔn)的定位，提供異常分析之判斷； H3R{+7  
NI,>$@{  
4.樣品借由層次去除技術(shù)(Delayers)，提供SEM做電路自動連拍拼接生成的圖文件，可以與光學(xué)顯微鏡生成的圖像做縱向連結(jié)，提供電路還原逆向工程之參考