主要用途 |!|^ v  
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器件表面圖形的刻蝕。 2A`A\19t  
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性能參數(shù) -W{DxN1  
"|Fy+'5}  
a)可實現(xiàn)各向異性刻蝕，工藝穩(wěn)定，重復性好； MiT}L  
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b)射頻功率源：600瓦，頻率13.56MHz；
GY3