這些參數(shù)表示 Zernike 項(xiàng)在整個(gè)表面上具有約 5 微米的 RMS 誤差，周期項(xiàng)振幅約為 0.5 微米，周期為 1 周期/毫米，或者說(shuō)在整個(gè)表面有 20 個(gè)周期。

在進(jìn)行公差分析之前，我們需要對(duì)公差參數(shù)進(jìn)行一些調(diào)整。首先，由于我們的用戶定義的中頻“us_zernike+msf.dll”曲面不是TEZI支持的曲面類型之一，所以必須刪除曲面1的操作數(shù)，并將其替換為TPAR。

舉例來(lái)說(shuō)，TPAR(1,9)指表面1的第9個(gè)參數(shù)（振幅擾動(dòng)）。同理，TPAR(1,10)表示表面1的第10個(gè)參數(shù)（周期擾動(dòng)）。TPAR(1,16)到TPAR(1,25)是中頻曲面的Zernike項(xiàng)，如編輯器中所示，名義值為零或非常小，并且隨著蒙特卡羅分析的每次迭代而增加。

靈敏度分析表明，上述TPAR(1,9)是影響最嚴(yán)重的因素之一，說(shuō)明表面波紋狀不規(guī)則度的幅度越大，系統(tǒng)的性能下降越大。我們還可以看到基于平方根和的均方根光斑半徑預(yù)估值。

以RMS光斑半徑為標(biāo)準(zhǔn)，優(yōu)化后焦長(zhǎng)度，蒙特卡羅循環(huán)1000次。