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離子源加速電流是否越大越好
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離子源加速電流是否越大越好
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奔跑的小駿馬
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樓主
發(fā)表于: 2017-12-01
現(xiàn)在使用的離子源存在兩個問題:
PeD>mCvL"
1、加速電流非常不穩(wěn)定,突變比較大,數(shù)量在10mA以內(nèi)波動;是否跟離子源工作狀態(tài)的穩(wěn)定性有關(guān)?
z?T;2/_7
2、加速電流設(shè)置不知道多少數(shù)值為佳?
S$O+p&!X
有沒有懂得,指點(diǎn)一二。
n=t50/jV3=
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rexchou
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1樓
發(fā)表于: 2017-12-01
是不是設(shè)定在最大輸出功率 的60~80%,會不會是比較妥當(dāng)?shù)膥
H?]%b!gQG
@4)NxdOE
加速電流我不清楚能不能設(shè)定,參數(shù)那邊我只知道可以設(shè)定加速電壓
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ouyuu
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2樓
發(fā)表于: 2017-12-01
10mA很小了。光馳基本上是100mA的變化。
kZb #k#
加速電流變化一般是氣體流量的問題,氣體流量是受真空壓力變化波動的。
B3AWJ1o
而真空壓力波動的原因很大一部分是受電子槍蒸發(fā)的影響。
CjRU3 (Q
io&FW!J.
一般RF源出廠時候做分布都是最高電壓最大電流為基準(zhǔn)的。
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