一臺新的鍍膜機，在不知道折射率，沒有補正板，不知道均勻性等的情況下，應該如何進行調試��？步驟我知道，但是就是不知道具體該如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三鈦為例，在沒有具體的折射率情況下，用多大的折射率去做單層，單層的厚度設計多少，做出來后怎樣進行修正計算實際的折射率，具體的教程誰有�。苛硗庵�道折射率了，在做均勻性時，修正板要如何修剪？ 16xM
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求指點。 -Ndd6O[ a5  

補正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:354 補正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:354 KK/~W  
先看一下附件，新柯隆的補正板做成資料。 "~> # ;x{  
寫的比較詳細了。

另外，要做單層時，先確認一下你的分光儀測量范圍和手頭的光學軟件是否可以用，里面有多少材料庫，不夠的話去查一下自己做材料。（推薦麥克勞德，當然TFC也可以） 0L9z[2sj  
一般單層厚度在測量范圍內3～5個PEAK（用光學軟件模擬一下就可以知道）。 q$Gf9&ZO  
SiO2一般折射率變化不會太大，所以直接用光學軟件的折射率也可以。
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（還有就是有些分光儀分辨率不高，做出來的SiO2曲線毛刺很多，反倒不如軟件里的折射率準確） * _)xlpy  
做的話多用幾個坩堝，一個坩堝做很厚的膜層不好（打坑深了分布變了修正板就不準了）

1.設定初參數(shù)：溫度、真空、充氧、離子源、速率，這個可以參考或詢問； mR\rK&'6  
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