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    [求助]新鍍膜機(jī)如何調(diào)試 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2017-09-12
    一臺(tái)新的鍍膜機(jī),在不知道折射率,沒有補(bǔ)正板,不知道均勻性等的情況下,應(yīng)該如何進(jìn)行調(diào)試?步驟我知道,但是就是不知道具體該如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三鈦為例,在沒有具體的折射率情況下,用多大的折射率去做單層,單層的厚度設(shè)計(jì)多少,做出來后怎樣進(jìn)行修正計(jì)算實(shí)際的折射率,具體的教程誰有?另外知道折射率了,在做均勻性時(shí),修正板要如何修剪? ff aMF~+  
    求指點(diǎn)。 uFOYyrESc  
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2017-09-12
    補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:354 補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:354 T`Xz*\}Zb  
    先看一下附件,新柯隆的補(bǔ)正板做成資料。 [kI[qByf  
    寫的比較詳細(xì)了。
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2017-09-12
    另外,要做單層時(shí),先確認(rèn)一下你的分光儀測(cè)量范圍和手頭的光學(xué)軟件是否可以用,里面有多少材料庫,不夠的話去查一下自己做材料。(推薦麥克勞德,當(dāng)然TFC也可以) nB%[\LtZ?  
    一般單層厚度在測(cè)量范圍內(nèi)3~5個(gè)PEAK(用光學(xué)軟件模擬一下就可以知道)。 :n oZ p:a  
    SiO2一般折射率變化不會(huì)太大,所以直接用光學(xué)軟件的折射率也可以。 ~JOC8dO  
    (還有就是有些分光儀分辨率不高,做出來的SiO2曲線毛刺很多,反倒不如軟件里的折射率準(zhǔn)確) PB@jh}  
    做的話多用幾個(gè)坩堝,一個(gè)坩堝做很厚的膜層不好(打坑深了分布變了修正板就不準(zhǔn)了)
    離線fly6947
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2017-09-13
    1.設(shè)定初參數(shù):溫度、真空、充氧、離子源、速率,這個(gè)可以參考或詢問; 7i9wfc h$U  
    N\ zUQ J  
    2.鍍單層膜  基板選擇圓平片,一班鍍3-5個(gè)極值; ='HLA-uT  
    Ewo6Q){X  
    3.修均勻性和計(jì)算折射率同步進(jìn)行;高低材料均勻性交替修 DXfQy6k'  
    7:OF>**  
    4.修好均勻性后根據(jù)折射率計(jì)算tooling; [<#`@Kr  
    l/bZE.GJ  
    5.驗(yàn)證膜層的光學(xué)及非光學(xué)性能;有異常者重新修改參數(shù)并重復(fù)2-4過程
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2017-09-14
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:1.設(shè)定初參數(shù):溫度、真空、充氧、離子源、速率,這個(gè)可以參考或詢問;
    2.鍍單層膜  基板選擇圓平片,一班鍍3-5個(gè)極值;
    3.修均勻性和計(jì)算折射率同步進(jìn)行;高低材料均勻性交替修 -Deqlaf(  
    ....... (2017-09-13 11:28)  9K_p4 mq  
    |kkg1M#  
    謝謝。不過說的流程我大概知道,就是不會(huì)具體的操作,比如我設(shè)計(jì)了單層,也鍍了;出來特性也測(cè)了,如何計(jì)算折射率?
    離線ouyuu
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2017-09-14
    折射率和吸收兩個(gè)要一起用軟件算的。 ^EmI;ks  
    你先說說手頭有什么軟件? [V.#w|n  
    每種軟件的使用方法不一樣。 y4N=v{EbL  
    如果你只要結(jié)果的話,直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來,有空幫你算。 !;;WS~no3  
    :/FT>UCL  
    ;Fm7!@u^0  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-14 23:51重新編輯 ]
    離線fly6947
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2017-09-15
    樓上大神說得對(duì),
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2017-09-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:折射率和吸收兩個(gè)要一起用軟件算的。 N ?mTAF'M  
    你先說說手頭有什么軟件? kxp, ZP  
    每種軟件的使用方法不一樣。 J` J^C  
    如果你只要結(jié)果的話,直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來,有空幫你算。
    ....... (2017-09-14 22:19)  43 h0i-%1  
    6(uK5eD(!n  
    麥克勞德、TFC都有
    離線ouyuu
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2017-09-16
    光學(xué)薄膜講習(xí)資料(王編譯).rar (813 K) 下载次数:233 N5%zbfKM  
    我居然以前還翻譯過這個(gè)資料…… Qwm#6{5  
    l" #}g%E  
    一般我的資料都是免費(fèi)提供。 :7w^2/ZGo  
    但是這次付出的時(shí)間比較多,所以出售5個(gè)幣。 ~K-c-Zs#z  
    其實(shí)你網(wǎng)上找一下應(yīng)該是有資料的,麥克勞德的資料百度上還挺多的。 N=QeeAI}}m  
    A1A/OU<Vb  
    你也可以問版主CYQDESIGN買一本麥克勞德的中文說明書,大概400元吧。 y,D4b6  
    這樣做事方便很多,公司出錢應(yīng)該沒有問題吧。 )Uv lEG']  
    gfPht 5  
    {{WA=\N8C  
    5g{F-  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-16 22:00重新編輯 ]
    離線futurebright
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2017-09-21
    很好的學(xué)習(xí)資料