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    [求助]光弛1300鍍膜機離子源柵網(wǎng)更換后氧化硅與氧化鈦匹配系數(shù)失衡，請大神幫忙分析一下 [復制鏈接]

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    離線liujun0527
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2017-06-07
    各位好，最近在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)鍍膜機固定的2套柵網(wǎng)周期性更換后，內(nèi)外圈氧化硅與氧化鈦材料匹配系數(shù)失衡，導致曲線頻譜落差變大，請各大神指導一下從哪些方向上分析改善。 svDnw cl  
    "0Z /|&  
     
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    離線756340418
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2017-06-13
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    離線yzhuang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2017-06-27
    一樓正解，大家一定要注意的是，離子源的狀態(tài)會影響膜層的位置均勻性，更換離子源部件或者調(diào)整離子源參數(shù)都可能會發(fā)生樓主那樣的情況
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2017-06-30
    如果只是鍍前轟擊的話，會不會影響鍍膜的均勻性。遇到過在鍍后轟擊會引起膜層不均勻的現(xiàn)象。
    離線拉比熊
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2017-07-05
    首先 檢測的是 離子源柵網(wǎng)更換是的重復性工作，其次才是MASK
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2017-07-22
    MASK只是修正鐘罩的，而鐘罩是不變得。所以我們要從以下幾個方面去考慮： HbB8A#u  
    1、鐘罩是否變形，你可以從鐘罩的幾個不同的位置去取測試片對比以下特性的差異，有可能是因為鐘罩變形，每次取的測試片位置不一致導致特性不停的變動； fB7Jx6   
    2、查看離子源的蒸發(fā)角度是否發(fā)生變化，主要是離子源的傾斜角度，出廠都有參數(shù)的。角度變化導致離子分布變化，從而影響特性； =8*ru\L:hr  
    3、電子槍系統(tǒng)是否發(fā)生變化，光斑相對于鐘罩的位置等等。 O:rf DO