摘要：為滿足基于機(jī)器視覺的工業(yè)檢測(cè)系統(tǒng)中對(duì)自動(dòng)對(duì)焦快速性的要求，提出了一種基于激光技術(shù)的新型嵌入式高速對(duì)焦系統(tǒng)。該方法利用在同一光路中激光與可見光互不影響的特性和DSP高速圖像處理的能力，通過檢測(cè)特殊設(shè)計(jì)光學(xué)回路反射回來的激光光斑信息，主動(dòng)控制運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)工業(yè)檢測(cè)系統(tǒng)顯微鏡的快速和穩(wěn)定對(duì)焦。該對(duì)焦方法改善了TFT-LCD光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)中基于被動(dòng)的圖像處理和基于主動(dòng)測(cè)距等傳統(tǒng)對(duì)焦方式精度低和速度慢等缺陷。測(cè)試結(jié)果表明，該新型對(duì)焦系統(tǒng)極大的縮短了對(duì)焦的時(shí)間，并且提高了對(duì)焦系統(tǒng)的控制精度，滿足了工業(yè)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)中實(shí)際應(yīng)用的要求。 V}"
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