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案例386(1.0) Ov^##E "p7nngn~ 關(guān)鍵詞: 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補(bǔ)償,幾何畸變,枕形,桶形,強(qiáng)度衰減,功率、陡降、損耗、預(yù)備信號(hào)場(chǎng)、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 Keem\/ v*%52_ 1. 摘要 2=/-,kOL_ <'N:K@Cs 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)。 n4y]h 通過來分束器可以生成一個(gè)5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 jFUpf.v2 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個(gè)規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個(gè)形變。 >##Z}auY 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計(jì)中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 ,~DV0#" A+3SLB 2. 設(shè)計(jì)任務(wù):規(guī)則的5×5光束分束器 0[e!/*_V
|Wjpnz aYDo0?kF' 設(shè)計(jì)衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場(chǎng)生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 @5ud{"|2 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° ,[)l>!0\H 最大衍射角(對(duì)角線)=30.1° M&/%qF15 Fk^N7EJ:$ 3. 設(shè)計(jì)任務(wù)
Hf\sF(, ( gKQV99 光源參數(shù): G]4Ca5;Z!N — 高斯光源波長(zhǎng):532nm b?c/J{me — 光束直徑(1/e2):80um P%gA`j 系統(tǒng)參數(shù): mEsb_3?#+ — 衍射元件到屏幕距離:z=0.3m >0W
P:-\* 期望輸出場(chǎng): p4*L}Q — 期望點(diǎn)圖形:規(guī)則圖形,5×5的點(diǎn)陣 =/`]lY& — 級(jí)次間距:49.2mm G!;PV^6x — 目標(biāo)圖案依據(jù)示例文件 g,rmGu3v “Sc386_TargetPattern_1.ca2” OF+4Mq DOE參數(shù): ~> Q9 — 僅改變位相的衍射光學(xué)元件 EK Vcz'w — 離散DOE的位相階數(shù):4 ".N+nM~ b^Re947{g 4. 點(diǎn)圖形的變形 mO;QT e6Y>Bk
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