雙頻激光干涉儀是當(dāng)代國際機床標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定使用的數(shù)控機床精度檢測驗收的測量設(shè)備，本文就如何應(yīng)用雙頻激光干涉儀檢驗數(shù)控也庫的定位精度進行了討論。 ;$&
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1．測量隱理 IF21T  
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  由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束，經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號，其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直，被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機床運動使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移，兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng)，產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號（f1-f2±Δf）和參考訊號（f1-f2）被送到測量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計數(shù)，送人數(shù)字總線，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進行處理，得到所測量的位移量，即可評定數(shù)控機床的定位精度。 ?z36mj"`o  
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2．測量方法 /bj`%Q.n  
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（1）安裝雙頻激光干涉儀測量系統(tǒng)各組件。 1OGv+b)  
（2）在需測量的機床坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測量裝置。 vnOF$6n  
（3）調(diào)整激光頭，使雙頻激光干涉儀的光軸與機床移動的軸線晝在一條直線上，即將光路調(diào)準(zhǔn)直。 9w<_XXQ  
（4）待激光預(yù)熱后輸入測量參數(shù)。 a[9OtZX<  
（5）按規(guī)定的測量程序運動機床進行測量。 I&@@v\$*  
（6）數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出。 aNEy1-/(\  
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3．測量誤差分析