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　　公司介紹 TKBK3
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　　牛津儀器為客戶(hù)提供靈活，可配置的加工工具，以及針對(duì)精確，可控和可重復(fù)蝕刻，沉積，微米-納米結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)的前沿工藝。 <UHWy&+z&  
　　牛津儀器的刻蝕、沉積和生長(zhǎng)系統(tǒng)可以為材料的微米、納米級(jí)工程提供工藝方法，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、MEMS和微流體、高質(zhì)量光學(xué)涂層及其他多種微納技術(shù)領(lǐng)域。 y!c7y]9__2  
　　這些解決方案是基于如下核心技術(shù)： V5@[7ncVf  
　　- 等離子體刻蝕和沉積 e%0#"6}  
　　- 原子層沉積(ALD) l )V43  
　　- 離子束蝕刻&沉積 nu%Nt"~[%  
　　- 深硅刻蝕系統(tǒng) wQuaB6E  
　　- 磁控濺射 &EJ,k'7$  
　　產(chǎn)品范圍包括單機(jī)研發(fā)系統(tǒng)、批處理設(shè)備直到具備大規(guī)模生產(chǎn)能力的片盒到片盒設(shè)備。 pC.4AkEO  
　　研討會(huì)主題：使用創(chuàng)新等離子加工技術(shù)蝕刻圖形藍(lán)寶石襯底(PSS) ,) jB<`  
　　舉辦時(shí)間：2015年6月4日 下午15:00-16:00 *>*/|  
　　舉行公司：牛津儀器 Y'%Iat(z  
　　研討會(huì)簡(jiǎn)介： !J(,M)p!  
　　LED行業(yè)對(duì)提高經(jīng)營(yíng)成本的積極性推動(dòng)了牛津儀器的離子技術(shù)創(chuàng)新。經(jīng)過(guò)優(yōu)化的離子體工序?yàn)樘岣咂骷�產(chǎn)量和降低制造成本提供許多途徑，達(dá)到一石二鳥(niǎo)的效果。LED制造商需要關(guān)鍵的離子體蝕刻步驟(圖案化藍(lán)寶石襯底(PSS)和GaN刻蝕)和沉積步驟進(jìn)行鈍化，電流阻擋以及掩模制作。這些都是通過(guò)各種技術(shù)，例如等離子體增強(qiáng)化學(xué)沉積(PECVD)來(lái)進(jìn)行。本次研討會(huì)闡述了通過(guò)提高加工率以及同時(shí)增加處理晶片的數(shù)量的方法，以提高這些工序的生產(chǎn)效率。 Y'H/ $M N  
　　研討會(huì)議程： x<7` 109]  
　　1. 5分鐘介紹 - OFweek主持人; VP[!ji9P  
　　2. 演講1： 20分鐘 – Dr Mark Dineen《使用創(chuàng)新量子加工技術(shù)蝕刻圖形藍(lán)寶石襯底(PSS)》(英文版本); z>g& ?vo2  
　　3. 演講2：20分鐘 – Dr Young Huang《使用創(chuàng)新量子加工技術(shù)蝕刻圖形藍(lán)寶石襯底(PSS)》(中文版本); RIqxM  
　　4. 問(wèn)答環(huán)節(jié) - 20分鐘。 %=O!K>^vt<  
　　參會(huì)有禮 J0mCWtx&  
　　在線(xiàn)提問(wèn)互動(dòng)有機(jī)會(huì)贏得牛津儀器提供的獎(jiǎng)品：無(wú)線(xiàn)鼠標(biāo)2個(gè)、U盤(pán)10個(gè)! iKH T  
　　報(bào)名鏈接：http://t.cn/RABTvu9