前邊初步介紹了衍射光學(xué)工具箱的splitter和diffuser的設(shè)計。今天我們介紹光柵工具箱的功能。 .nj?;).
在光柵工具箱中可對2D和3D(一維線光柵或2維光柵在VL中被定義為2D和3D光柵)光柵進(jìn)行衍射效率,內(nèi)部場,偏振情況進(jìn)行分析,分析方法為矢量衍射方法(傅里葉模態(tài)法(FMM)),因此可對亞波長光柵進(jìn)行精確分析。FMM方法的分析要確保結(jié)構(gòu)為周期性結(jié)構(gòu)(平面也可認(rèn)為是周期性結(jié)構(gòu)),故而有一個棧周期的概念,一個棧周期可包括一個或多個周期。而對于光柵的分析大多采用平行光入射。 ATYQ6E[{MV
本例先使用近場和衍射效率分析功能,首先建立正弦光柵,可直接從菜單中選擇,然后編輯正弦光柵的參數(shù),包括周期,調(diào)制深度,光柵介質(zhì)等參數(shù)。 Nw9-pQ
參數(shù)設(shè)置完畢可通過場追跡直接運(yùn)行得到近場,選擇光柵效率分析儀運(yùn)行則可得到光柵的衍射效率。對于衍射效率,可給出各級次的反射和透射效率或某個范圍的衍射級次(衍射角度)。另外也可給出在一定距離處的各衍射級次的位置及效率分布。從而對于全方面的分析衍射效率帶來巨大便利。