香港弗銳達科技有限公司推出針對193nm 40x長工作距離深紫外物鏡，工作距離可達1.5mm，NA：0.6. M8^ziZY  
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性能參數(shù) jS5t?0  
AOvH&9**  

ITEM#	COATING	M	WD	EFL	NA	TFS	EA	L	SPOTSIZE
XWJ-40X-UV	UV	40×	1.5mm	4.4mm	0.6	1μm	5.3mm	43.5mm	1μm

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y$;zTH_6j  
注：有限遠共軛 iG;d0>Sp  
IArpCF/"8  
2.外形尺寸 (<5'ceF)X  
x r+E  
B<|q{D$N/  
IAt+S-q0  
3.成像質(zhì)量測試報告 N?`GZ+5  
6w
.iEb  
YA/H;707l  
4.檢測結(jié)果 DI"dY ug#  
`qYc#_ELv  
4.1焦距測量 s]V{}bY`  
U8.0