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193nm長(zhǎng)工作距離深紫外物鏡

發(fā)布:1983pengya 2015-04-01 00:12 閱讀:2095
香港弗銳達(dá)科技有限公司推出針對(duì)193nm 40x長(zhǎng)工作距離深紫外物鏡,工作距離可達(dá)1.5mm,NA:0.6. QeAkuqT'[  
\RP=Gf  
性能參數(shù) j#XU\G  
Y6 @A@VJ  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
d3C*]|gQ  
[+y/qx79  
注:有限遠(yuǎn)共軛 u"n ~ 9!G  
3?(||h{  
2.外形尺寸
>G+?X+9  
hMs}r,*  
M*c`@\  
:@X@8j":  
3.成像質(zhì)量測(cè)試報(bào)告 <<![3&p#  
<tTn$<b  
mE]W#?   
4.檢測(cè)結(jié)果 , v6[#NU_Z  
PFIL)D |G  
4.1焦距測(cè)量 `Uw^,r  
Icf@uQ6  
G#0 4h{  
焦距測(cè)量的測(cè)試波長(zhǎng)為綠光(540nm),該波長(zhǎng)下的顯微物鏡焦距為5.6mm,實(shí)測(cè)焦距為5.3mm o'  DXd[y  
P8s'e_t  
4.3 透過率測(cè)量 \h"QgHzp  
yz2NB?)  
#6JCm!s  
陪鍍片的剩余反射率曲線
  • 利用陪鍍片進(jìn)行測(cè)量,陪鍍片厚度:8mm;
  • 結(jié)果:內(nèi)透過率:99.6%;零件透過率:98.4%;單面透過率:99.485%
  • 整體透過率為94%(193nm處)。
$NWI_F4  
NC2PW+(  
4.2像質(zhì)檢測(cè) Z,,Wo %)o  
C`x>)wm:  
a)    顯微物鏡對(duì)目標(biāo)(小孔)所成的像 [H)p#x  
               18!0H l>  
 Wcn^IQ  
  b)能量集中度曲線 SR S~s  
|xaA3UA  
;xa]ke3]  
c) 點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)
U=%S6uL\bx  
413r3/  
5. 實(shí)物照片 M|`%4vk>  
5,qfr!hN,  
同時(shí)可以接受根據(jù)客戶需求訂制特種物鏡。
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最新評(píng)論

過客2014 2015-07-24 08:53
你好,請(qǐng)問你對(duì)準(zhǔn)分子激光器了解嗎?有一些這方面的問題想咨詢一下,希望你能幫幫忙,不勝感激。我qq號(hào):1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以,我們本身就代理GAM的準(zhǔn)分子激光器,請(qǐng)聯(lián)系 QQ:75398714 ~Cj+6CrT  
o &LNtl;  
內(nèi)容來自[短消息]
京京椰樹 2019-03-13 14:16
這個(gè)很厲害了
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