XUV光譜儀是新型的像差校正平場入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 DT7-v4Zd  
    單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測量范圍 RGPU~L  
技術(shù)參數(shù)

J?,!1V=   波長范圍

"=Fn.r4I   5-20

:0TSOT9.   10-60

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