一﹑晶振片的種類 B'
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晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要，目前，市場(chǎng)上提供三種標(biāo)準(zhǔn)電極材料：金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學(xué)溫定性，易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料，如金，銀，銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品，即使頻率飄移1MHz，也沒有負(fù)作用。然而，金電極不易彎曲，會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。 O_:l;D#i