第一章:為何使用
干涉儀做檢測
)qy?x7 * %D_\0; 第二章:干涉儀工作
原理 @KQ>DBWQM ;cMQ0e 2-2如何判斷干涉條紋
"Zp&7hI 2-2-1干涉條紋種類
]Lv3XMa 那么我們?nèi)绾闻袛喔缮鏃l紋? 因?yàn)槲覀儾皇请S時(shí)隨地都可以方便的使用干涉儀并藉由計(jì)算機(jī)來分析, 所以我們必須用肉眼來判斷, 這也是最快最方便的方式.
MK1\ 干涉條紋的種類有2種:第一個(gè)是等厚度干涉條紋, 在等厚度干涉條紋中明暗的條紋會呈現(xiàn)等間隔的情形, 而且每個(gè)相鄰的條紋代表相同的厚度間隔.
8t!jo.g 假設(shè)橫線為
標(biāo)準(zhǔn)面, 斜線為一個(gè)斜率固定的待測面, 當(dāng)
光線打過來的時(shí)候會產(chǎn)生折射現(xiàn)象, 我們在第一個(gè)射入點(diǎn)做一條與標(biāo)準(zhǔn)面平行的虛線, 在待測面會有光a反射回去, 在標(biāo)準(zhǔn)面時(shí)也會有光b反射回去從圖可以看出光線a及b所通過的路徑是不同的,而當(dāng)光程差恰為
波長的整數(shù)倍時(shí),就可以看到相同間隔的干涉條紋
$d<NN2 lV\iYX2# 2-2-2-1 干涉條紋判斷應(yīng)用
實(shí)例一
J(]|)?x2 干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例:
Sn nfU 應(yīng)用一:表面平整性-
gUklP(T=u 如果我們想從干涉圖了解物體表面的平整性好不好, 可以在干涉圖上畫一個(gè)以中心為準(zhǔn)的十字線, 數(shù)數(shù)看從中心點(diǎn)起, 在X方向上的條紋數(shù)及Y方向上的條紋數(shù)量有幾個(gè),
+?J N_aR 這個(gè)量在
光學(xué)工廠中是最常使用的, 當(dāng)我們要求師父磨一個(gè)
鏡片時(shí), 就可以告知我們對表面平整性的需求, 在X方向與Y方向上的誤差范圍容忍度是多少.
m23"xnRB 從圖上來看, X方向上有1個(gè)條紋,Y方向上則有3個(gè)條紋,也就是說, 這個(gè)待測的組件, 在X方向與Y方向上的變化程度不一樣, 這個(gè)變化程度就定義為表面平整性Surface irregularity同時(shí)差異量最大的地方我們定義為:POWER, 也就是Y方向的3,而irregularity是看X方向與Y方向上的差異量, 也就是2,所以從上圖的干涉條紋我們可以知道待測物的Power為3、irregularity為2 那到底什么是POWER, 什么是irregularity?
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