對(duì)于
光學(xué)表面的評(píng)價(jià)，可以有兩個(gè)重要指標(biāo)：表面面形和表面粗糙度。一般地，光學(xué)表面面形通過(guò)
干涉儀來(lái)測(cè)量；而粗糙度一般采用光學(xué)輪廓儀或掃描探針
顯微鏡測(cè)量。我們這里主要討論粗糙度的測(cè)量問(wèn)題。
q,*IR*B:a F\]rxl4(L 對(duì)于小尺寸元件來(lái)說(shuō)，這些方法都是可行的。然而，對(duì)于大尺寸元件，比如口徑大于300mm或500mm甚至1m的元件，很多方法都受到了測(cè)量環(huán)境的限制。
60p1.;' /a yDyq. -Q 除粗糙度要求接近0.1nm RMS的表面外，一般光學(xué)表面都采用光學(xué)輪廓儀測(cè)量。這種方法比較直接，操作簡(jiǎn)單。但是在使用中，都要求在隔振平臺(tái)。這是由于這類(lèi)
儀器的
原理導(dǎo)致的，雖然是近距離的測(cè)量，但是振動(dòng)會(huì)對(duì)這種
納米級(jí)測(cè)量帶來(lái)噪聲誤差，從而導(dǎo)致測(cè)量失敗。
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