大多數(shù)的
光學(xué)實(shí)驗(yàn)室,對(duì)采用平行光管的透射式定心工具比較熟悉,但這種方法有很大的局限性。首先,這種測(cè)量不適用于非球面、柱面和拋物面的
鏡頭。然而動(dòng)態(tài)
激光反射系統(tǒng)可以應(yīng)用于任何光學(xué)表面。其次,基于平行光管的對(duì)準(zhǔn)儀需要隨測(cè)量對(duì)象的變換經(jīng)常改變物鏡,使得測(cè)量成本非常高昂。標(biāo)準(zhǔn)的平行光管使用低強(qiáng)度的白光
光源,在大部分增透膜表面的反射率很低,特別是V 型鍍膜。激光反射系統(tǒng)則不存在此類問題。在此簡(jiǎn)單得介紹下激光反射式定心方式。
LK?V`J5wY 激光反射式定心與裝配工作臺(tái)(定心儀),用于精密與超精密鏡頭組的裝配,以提高裝配和檢測(cè)精度。定心儀可以將多元件系統(tǒng)的裝配、測(cè)量、檢測(cè)等過程緊密地聯(lián)系在一起。在裝配過程中,操作者可以獲得光學(xué)對(duì)準(zhǔn)信息的反饋,用標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)測(cè)量模塊可以測(cè)到的最小傾斜值達(dá)到2弧秒,中心定位的精度可以達(dá)到小于0.5微米。
Uc?4!{$X ?)60JWOJ1 工作原理
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