夏克哈特曼
傳感器是在經(jīng)典夏克哈特曼測量方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的波前測量儀器。它與傳統(tǒng)的數(shù)字式干涉儀比較具有結(jié)構(gòu)簡單、沒有移動部件、抗震動能力強(qiáng)、對被測光的相干性沒有要求、使用時無需參考光、可實(shí)時記錄波前變化過程、并同時適用于連續(xù)光和脈沖光的測量等優(yōu)點(diǎn),現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用在自適應(yīng)
光學(xué)系統(tǒng)的實(shí)時波前探測、
激光器光束質(zhì)量診斷、大口徑光學(xué)元件面型檢測以及記錄鏡面連續(xù)變化過程中。
=;"$t_t }I;5yk,o msiftP. *K1GX 優(yōu)點(diǎn):
muqIh!nn ]jL`*tI\S 快速測量波前,對振動不敏感
(e$/@3* 較大的動態(tài)范圍,可用于直接測量某些非球面,特別適合
光學(xué)系統(tǒng)初期裝調(diào)
dJ0qg_ U& 缺點(diǎn):
ZT;:Hxv0N 空間分辨率依賴于微
透鏡陣列,遠(yuǎn)比干涉儀低