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功能描述 1(q!.lPc  
在三軸掃描振鏡工作時(shí)，激光束首先進(jìn)入移動(dòng)鏡頭。透過移動(dòng)鏡頭之后，光束快速分散，直到進(jìn)入一個(gè)或兩個(gè)聚焦鏡頭�，F(xiàn)在會(huì)聚的光束穿過鏡頭，并由一組 X 和 Y 鏡片（這些鏡片由振鏡式掃描器移動(dòng)）引導(dǎo)。X 和 Y 鏡片呈直角排列，向下引導(dǎo)光束，覆蓋工作范圍的長和寬。 bn<&Xe  
在沒有焦點(diǎn)校正的掃描振鏡中，向任一軸向移動(dòng)工作范圍中心聚焦的激光光斑時(shí)，都會(huì)劃出一個(gè)弧形，在工作范圍上方產(chǎn)生一個(gè)聚焦點(diǎn)的球面。在遠(yuǎn)離工作范圍中心的位置，激光光束沒有聚焦。這是因?yàn)楫?dāng)掃描器將光束向遠(yuǎn)離工作范圍中心的方向引導(dǎo)時(shí)，從鏡頭到工件的距離增加了。 ^Xa-)Pu  
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在三軸掃描振鏡中，通過微調(diào)移動(dòng)鏡頭和聚集鏡頭之間的距離來實(shí)現(xiàn)聚焦補(bǔ)償，由于掃描器通過第三個(gè)移動(dòng)軸—“Z”軸在整個(gè)工作范圍內(nèi)引導(dǎo)光束，故而得名“3 軸掃描振鏡”。 w$Dp m.0(  
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在 RAYLASE 產(chǎn)品中稱 Z 軸為直線模塊，它是用來將激光光斑沿光軸向下移動(dòng)的光學(xué)機(jī)械組件。因此，激光束子系統(tǒng)能夠裝入不同的掃描振鏡。激光束子系統(tǒng)的聚焦屬性由直線模塊決定，而在某些版本 (FOCUSSHIFTER) 中，還由振鏡上的 F-theta 鏡頭決定。直線模塊裝有一個(gè)或兩個(gè)聚焦鏡頭。 *>_:E6)