非球面透鏡的面性檢測,現(xiàn)在用的比較多的是加零鏡,但是制造零鏡要求過高。而且很多都是非球面。 TPFmSDq
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下面介紹的方法是將面型的檢測轉(zhuǎn)化為對波前誤差的檢測,這樣就比較簡單了; j$oZIV7
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在非球面檢測中長借助于632.8nm波長的干涉儀進(jìn)行檢測。我們設(shè)計非球面透鏡大多不是以這個波長設(shè)計的,而且即使是在這個波長設(shè)計的,單個非球面成像的波相差也不一定就好(很多是系統(tǒng)中的一部分),這樣的話我們需要想辦法讓這個非球面在632.8nm波長下的波前誤差很好。這樣我們只要檢測透過鏡子的波前誤差來檢測非球面的好壞;有兩種方法: u`@FA?+E1
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1.做工藝球面:此方法只適合于有一個非球面的透鏡,首先將設(shè)計好的非球面輸入到光學(xué)設(shè)計軟件中固定不變,然后對透鏡另一個面(球面)進(jìn)行優(yōu)化使該透鏡在632.8nm波長下成像質(zhì)量,波相差最好,(這里設(shè)計的透鏡的厚度要比原設(shè)計稍厚,保證工藝球面不與原先的球面有交叉),該球面成為“工藝球面”,這樣首先加工出來這個工藝球面,然后加工非球面,使用632.8nm干涉儀直接檢測,直至成像質(zhì)量(波前差)滿足要求,最后再將另一面加工成所要的球面,這樣整個透鏡就加工完畢。 ,6Q-k4_
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2.加補償鏡:加補嘗鏡的方法比較簡單,設(shè)和大批加工。該方法是設(shè)計一球面透鏡作為補償鏡,使該球面透鏡與非球面透鏡組合成一個系統(tǒng),該系統(tǒng)在632.8nm波長下成像質(zhì)量非常好。檢測整個系統(tǒng)的成像質(zhì)量來推斷非球面的質(zhì)量。為保證非球面加工質(zhì)量,需要對球面透鏡提出要求要嚴(yán)格(球面鏡好加工)。 J}\]<aC
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補償鏡比工藝球面的使用范圍廣泛,因為工藝球面只有一個球面優(yōu)化的空間不足。結(jié)合工藝球面和加補償鏡兩種方法可以加工雙非球面透鏡(兩個面都是非球面的透鏡)。具體大家可以自己發(fā)揮! u*N8s[s'