菲索干涉儀器球面標(biāo)準(zhǔn)鏡參考文獻(xiàn)，很不錯(cuò)的說。 2Nzcej  
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摘 要：在高精度的光學(xué)元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)鏡的自重和溫度變形進(jìn)行嚴(yán)格地控制。針對高精度菲索干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的精度要求, 設(shè)計(jì)了一種新的標(biāo)準(zhǔn)鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時(shí)對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進(jìn)行了計(jì)算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標(biāo)準(zhǔn)具的裝配過程。 %-1-J<<J q  
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關(guān) 鍵 詞：應(yīng)用光學(xué)；菲索干涉儀；標(biāo)準(zhǔn)鏡；鏡面支承；有限元法

學(xué)習(xí)。。。。。。。 j(N9%/4u  

呵呵正在研究干涉儀器

有那么好的數(shù)據(jù)嗎？ lambda/100 = 6.3nm <R$|J|  
還是lambda/10、lambda/20的比較靠譜

路過頂下

學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)，

hutuwa:有那么好的數(shù)據(jù)嗎？ lambda/100 = 6.3nm _Ab|<!a/R  
還是lambda/10、lambda/20的比較靠譜 (2012-07-14 09:25)  2
91v R]  

Nl1&na)K}  
設(shè)計(jì)的吧，真正制造精度能到達(dá)lambda/20不錯(cuò)了

150mm菲索干涉儀球面標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)

路過，看一下

好東西��！