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    [下載]非對稱雙極脈沖反應磁控濺射制備TiN/ZrN多層膜 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-12-18
    非對稱雙極脈沖反應磁控濺射制備TiN/ZrN多層膜摘要：采用非對稱雙極脈沖磁控濺射制備了一系列不同調制周期的 Ti N /Zr N納米多層膜 ,利用 X射線衍射分析(XRD)、 納米壓痕儀、 掃描電子顯微鏡 ( SEM)表征了薄膜的微觀結構、 力學性能和斷口形貌。結果表明 ,在調制周期為 30 nm時 ,納米硬度達到 38 GPa。 c'fSu;1  
    t!;/Z6\Pb  
    關鍵詞：納米多層膜；力學性能；調制周期
    附件: 非對稱雙極脈沖反應磁控濺射制備TiN_ZrN多層膜.rar (485 K) 下載次數(shù):2 ，售價:2光幣[記錄]
     
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