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關(guān)鍵詞：納米磁控濺射射線

非對(duì)稱雙極脈沖反應(yīng)磁控濺射制備TiN/ZrN多層膜摘要：采用非對(duì)稱雙極脈沖磁控濺射制備了一系列不同調(diào)制周期的 Ti N /Zr N納米多層膜 ,利用 X射線衍射分析(XRD)、納米壓痕儀、掃描電子顯微鏡 ( SEM)表征了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和斷口形貌。結(jié)果表明 ,在調(diào)制周期為 30 nm時(shí) ,納米硬度達(dá)到 38 GPa。

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