MTF（Modulation TransferFunction） . sgV  
絕對精度    2%以下（軸上、軸外）（PT基準）   g"hm"m}i  
重復精度   1%以下（軸上） 3%以下（軸外）  對應EFL   0.5…100mm             k[gO>UGB;  
有限共軛長  1…100mm   K.",=\53  
有限最大物高  ±350mm System倍率          0.01…0.25 \;.\g6zX  
測量入射角 ±90°(INF)   68+9^  
測量線對   0 …300 lp/mm     評價波長   PEFilter （白色） 488, 546, 656nm（可選） /b@8#px  
~*- eL.  
EFL（Effective Focal Length） xuv%mjQ  
絕對精度   0.1% - 0.3%  （NPL基準） +i4S^B/8i  
重復精度   0.05%   5yuj}/PZ  
測量范圍   1mm … 100mm   sD_Z`1  
|t!kD(~r  
有限MTF設定 }tua0{N:z  
●有限距離調整（半自動）10…1000mm 5|9,S  
●物高調整（自動）±350mm  Stepping Motor（Reso. 0.2μm） xCEEv5(5  
●像高調整（自動）0…50mm ＊高精度LinearEncorder 50mm (Accy 0.1μm), Stepping Motor (Reso. 0.2μm) liA)|.H  
●對焦調整（自動AF）100mm 25::z9i  
nQa5e_q!u  
●平行光管（EFL50, 150, 300mm）   COL150-RC 4reticles, 4filters (488, 546, 656, PE) ;Bat!K7W  
●測量入射角調整（自動）+/- 90°＊高精度Rotary Encorder（Reso. 0.36arcsec），Stepping Motor（Reso.0.2μm）, Swivel Arm QDF1$,s4i  
●像高調整（自動）0…50mmLinearEncorder Linear Encorder 50mm (Accy. 0.1μm),Stepping Motor (Reso. 0.2μm) m@u!frE,  
●對焦調整（自動AF）100mm B-@6m