非接觸式測量根據(jù)測量原理的不同,有
光學(xué)測量、超聲波測量、電磁波測量、紅外測量、攝影測量等方式。
Q mz3GH@wg t9kqX(! 一、光學(xué)測量法可分為
激光三角測量法、機器視覺法、莫爾輪廓法、相位測量輪廓法、掃描隧道
顯微鏡( STM)法、
光纖法、激光干涉法、激光掃描法等 。
2Y9@[ 3n TpL# 1.光學(xué)三角測量法
YcuHYf5 _k5-Wd5Ypw 分為直射式光學(xué)三角法測量原理和斜射式光學(xué)三角法測量原理,按照測量方法可分為點
光源入射、線光源入射和柵光源入射三種形式;
hrnY0 w259': 2.莫爾輪廓法:是通過一塊基準光柵來檢測輪廓面的影柵或像柵,并依據(jù)莫爾圖案分布規(guī)律推算出輪廓面形狀的全場測量方法。投射在三維輪廓面上的變形光柵,其光場分布函數(shù)可表示成空間相位調(diào)制信號,待測物體偏離參考平面時因影柵條紋位置變化而引起的空間相位改變量,待測物體的高度信息就包含在這一相位調(diào)制項中;
v%2Jm!i+ WG*S:_? 3.相位測量輪廓法
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