非接觸式測(cè)量根據(jù)測(cè)量原理的不同，有光學(xué)測(cè)量、超聲波測(cè)量、電磁波測(cè)量、紅外測(cè)量、攝影測(cè)量等方式。 Fr-SvsNFB
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一、光學(xué)測(cè)量法可分為激光三角測(cè)量法、機(jī)器視覺(jué)法、莫爾輪廓法、相位測(cè)量輪廓法、掃描隧道顯微鏡( STM)法、光纖法、激光干涉法、激光掃描法等 。 zt%Mx>V@
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1.光學(xué)三角測(cè)量法 DmcZ ta8n]
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分為直射式光學(xué)三角法測(cè)量原理和斜射式光學(xué)三角法測(cè)量原理，按照測(cè)量方法可分為點(diǎn)光源入射、線光源入射和柵光源入射三種形式； e3\T)x &=
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2.莫爾輪廓法:是通過(guò)一塊基準(zhǔn)光柵來(lái)檢測(cè)輪廓面的影柵或像柵，并依據(jù)莫爾圖案分布規(guī)律推算出輪廓面形狀的全場(chǎng)測(cè)量方法。投射在三維輪廓面上的變形光柵，其光場(chǎng)分布函數(shù)可表示成空間相位調(diào)制信號(hào)，待測(cè)物體偏離參考平面時(shí)因影柵條紋位置變化而引起的空間相位改變量，待測(cè)物體的高度信息就包含在這一相位調(diào)制項(xiàng)中； LP=)~K<
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3.相位測(cè)量輪廓法 :(% 5:1W
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Satoru Toyooka和Tuuji Iwaasa在1986年提出了三維輪廓表面的空間相位檢測(cè)法。是用TV相機(jī)來(lái)采集物體上變形光柵圖像的灰度信息，然后由計(jì)算機(jī)按不同與FTP的規(guī)則進(jìn)行相位解調(diào)和高度計(jì)算，從而獲得需要點(diǎn)的坐標(biāo)； iy"*5<;*DD
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4.掃描隧道顯微鏡法 W g!
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利用量子理論中的隧道效應(yīng)，該掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的作用是產(chǎn)生探針相對(duì)于樣品的三維掃描運(yùn)動(dòng)，其運(yùn)動(dòng)部件的直線性、正交性運(yùn)動(dòng)的重復(fù)性和穩(wěn)定性都達(dá)到了前所未有的高要求； HaYo!.(Fv
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5.光纖法 .+qpk*V\
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光纖傳感器能實(shí)現(xiàn)“傳”和“感”的結(jié)合；體積小、質(zhì)量輕、抗電磁能力強(qiáng)、靈敏度高、易彎曲，可遠(yuǎn)距離觀察和遙測(cè)； 5r 0YA
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6.激光干涉法 'GScszz
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干涉法一直是精密線位移與角位移的有效測(cè)量手段。激光光源的應(yīng)用徹底克服了單色光源對(duì)干涉儀的限制。光電轉(zhuǎn)換器件和電子技術(shù)的迅速發(fā)展及應(yīng)用改變了傳統(tǒng)的干涉條紋處理方法； I^ ]nqK
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7.激光掃描法 dr"1s-D4IQ
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激光掃描法主要用于測(cè)量工件的幾何尺寸，如長(zhǎng)度、厚度、外徑等。以He- Ne激光器或半導(dǎo)體激光器為光源，通過(guò)一個(gè)旋轉(zhuǎn)的多面體將激光束自上而下掃描到被測(cè)物體上，經(jīng)過(guò)光電接收器件的轉(zhuǎn)換、數(shù)據(jù)處理，得出所測(cè)結(jié)果。像經(jīng)緯儀測(cè)量系統(tǒng)、全站儀坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)、激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)、室內(nèi)GPS測(cè)量系統(tǒng)、激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)都基于該原理 。 UxBpdm%dvP
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二、超聲波測(cè)量測(cè)量時(shí)，測(cè)頭發(fā)射一定速率的波，記錄被測(cè)量物體反射回來(lái)波的時(shí)間來(lái)計(jì)算被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)，缺點(diǎn)連續(xù)采集力較差，屬于無(wú)損檢測(cè)，多用于復(fù)合材料和陶瓷材料的裂紋檢測(cè)[ 9 ] 。 05R@7[GWq
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三、電磁波測(cè)量利用CT掃描設(shè)備對(duì)零件經(jīng)過(guò)CT層析掃描后，獲得一系列斷面圖像切片和數(shù)據(jù)。這些切片和數(shù)據(jù)提供零件截面輪廓及其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的完整信息，可進(jìn)行工件的形狀、結(jié)構(gòu)和功能分析。 p7 ~!z.)o
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四、紅外檢測(cè)紅外探測(cè)器的發(fā)展是紅外技術(shù)發(fā)展中最令人矚目的一個(gè)方面，成像探測(cè)的多元陣列探測(cè)技術(shù)，使紅外探測(cè)技術(shù)不斷革新。在軍事制導(dǎo)、探測(cè)方面應(yīng)用較多。
