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離線fupi1419

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2010-03-16

關(guān)鍵詞：鍍膜光譜濾光片

最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請問這種情況各位有沒有遇到過,有解決的方法嗎???

鍍膜溫度290度,鍍膜材料為TiO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無離子源助鍍.......

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