KOHZU神津多用途3次元測(cè)定用Xyθ平臺(tái) KZ400/KZ600 .$q]<MK8  
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KZ系列多用途Xyθ平臺(tái)主要用于形狀測(cè)定、圖像觀察和圖像處理，組合電機(jī)控制器SC-200門型畫幅幀和除振臺(tái)來(lái)構(gòu)成系統(tǒng)。 rp _G.C  
另，XY平臺(tái)有行程200mm（KZ-400）、300mm（KZ-600）2種選擇。 \>\w-ty[(  
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機(jī)械單元的系統(tǒng)構(gòu)成    KZ-400    KZ-600 's e9|:  
自動(dòng)XY平臺(tái)    移動(dòng)范圍    200mm    300mm p}j{<y  
    最大驅(qū)動(dòng)速度    40mm/sec ^m5{:\ Xk  
    最小移動(dòng)分辨率    4μm/step（Half時(shí)） sT/pA^rnnR  
    重復(fù)定位精度    ±2μm HVC\(h,)i  
手動(dòng)θ平臺(tái)    移動(dòng)范圍    ±5°    ±3° ln3
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Xyθ重量    50kg    100kg h IGa);g  
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Xyθ Stage For Multipurpose Three-Dimensional Measurement  KZ400/KZ600 h<6r+*T' p  
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The KZ series is a multipurpose Xyθ stage for shape messurment, image observation, and image processing. The system can be configured with an optional SC-200 motor controller, portal frame, and vibration isolation table. #|'8O  
Also an XY stage can be selected from two types: stroke 200mm(KZ-400) and 300mm (KZ-600). 4