光學元件及鏡頭表面細節(jié)和MTF測試的完美測試儀器 S-H波前相差測試系統(tǒng)
干涉儀和MTF測試是傳統(tǒng)的透鏡或鏡頭的測試方法。干涉儀對得到表面的細節(jié)信息非常有用,但是相對較貴且不易應用到生產(chǎn)線上。尤其,干涉儀不能對離軸光學測試,且只能工作在某一固定波長而無法對色差進行測試。MTF測試可以用于離軸測量,得到的測試信息主要是GO/NO GO信息,而且,由于采用了較多地移動部件進行掃描測試來尋找焦點,維護保養(yǎng)也是個問題。 理想的測試系統(tǒng)應該是既可以得到干涉儀提供的詳細測試信息(澤尼克系數(shù)、點陣圖、點擴散函數(shù)、MTF),并且系統(tǒng)應該堅固耐用(測試結果不受震動和氣流影響),又可以兼顧離軸和近軸測試,還可以靈活的進行配置以完成不同類型透鏡的測試任務。此外還可以對色差進行測試,;能夠適應不同環(huán)境、不同光學元件的測試需求;沒有移動部件以適應生產(chǎn)環(huán)境的測試需要;系統(tǒng)緊湊、測試速度快;可以用于在線調試優(yōu)化透鏡系統(tǒng)。SpotOptics 的波前測試系統(tǒng)就是這樣的一個系統(tǒng) 基于該原理的測試儀器的主要優(yōu)點是結構緊湊、適應性強 (受震動和氣流影響很。 可以用于生產(chǎn)環(huán)境。還可以采用閉環(huán)控制進行測試分析用于復雜光學系統(tǒng)的裝配、調校、優(yōu)化、對準等。 在復雜的光學系統(tǒng)中,定義和測量最佳焦點和光軸是非常困難的。只有在整個視場內(nèi)進行離軸測試才能確定可以得到最佳像質的配置。例如,由于傾斜造成的彗差通過調整補償通常是可以接受的。但是這種方法對離軸的像面質量卻沒有改善。 通過將測試得到的5個位置的標準澤尼克失常系數(shù)(3階彗差、球差、散光)與設計的理論值進行比較,計算得到與最佳焦面的散焦偏離量(um)。需要特別說明的是,我們的軟件是通過數(shù)學計算的方法得到散焦偏離量的,沒有任何物理掃描的過程,與MTF的測試方法完全不同。 |