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發(fā)布:sbisna 2009-04-27 12:37 閱讀:2549
Transene產(chǎn)品列表: X|w[:[P  
一.    蝕刻劑 w( ^  
可用于微電子電路半導(dǎo)體以及薄膜材料 V"`t*m$  
可蝕刻以下多種材質(zhì)的薄膜:AL,Al2O3,BOE,Cr,Cr-Si,Cr-SiO,Cu,F(xiàn)TO,GaAs,GaN,Ga2O3,GaP,Ge,Au,In2O3,ITO,InP,F(xiàn)e2O3,Polvimide,Mo,Nb,NbN,NbO,Ni-Cr,Ni,Ni-V,Pd,Ru,Si,SiC,SiO2,SiO,Si3N4,Aq,stainless steel,Ta,Ta3N5,Ta2O5,TaSi,Ti,TiN,Ti-w,W,SnO。 E