'Z,7{U1P  
`WxGU  
EMD代理美國SCI高精準薄膜度量 系統(tǒng) 與 軟件分析 產品 g2}aEfp!H  
WLh!L='{BK  
美國SCI為世界薄膜度量系統(tǒng)和分析軟件行業(yè)的領軍者， 8@rF~^-_  
其產品廣泛應用于半導體，OLED/LCD, 光電，數(shù)據(jù)存儲，顯示器，微型機電系統(tǒng)以及光附膜產業(yè)，SCI的薄膜特性度量系統(tǒng)品種豐富，從臺式研發(fā)設備到全自動生產工具以及分析/設計軟件應有盡有。  ]SL+ZT  
1)    Film Wizard™ 軟件 : 市面上功能最強大的，多用途，界面友好的薄膜測試模擬軟件 q3-cWfU  
應用實例，目前已經有多套Film Wizard™軟件應用于中國光電，半導體行業(yè)的研發(fā)和生產行業(yè)。 )@y'$)5s  
2) FilmTek™ 系統(tǒng): 為SCI出產的基于分光光度技術的度量系統(tǒng)，有多種不同配置，配合不同需求. -`Zk`s|
!  
1.多層厚度（1Å 到 250 microns） k%-UW%  
2.折射率n 3BLHd<  
3.吸收系數(shù)k rTJU)4I^h  
4.雙折射率 GMLx$?=j  
5.能隙（Eg） qX6zk0I a
 
6.表面粗糙度和損傷 :x3DuQP  
7.多孔性，薄膜成份，結晶度（EMA模式） 1GLb^:~A  
8.薄膜溫度特性 $Op:-aW&  
9.晶元曲率和薄膜耐壓性 p&`I#
6{  
技術參數(shù) 7~P!Z=m^^f  
1. 厚度測試范圍: 1Å to 250 microns [!} uj`e  
2. 重復性：      ± 0°（△）   ; +Ie<oW  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 {\VsM#K6  
4. 光譜范圍:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可選 ） =M4wP3V/  
5. 入射角:       0°（70°可選） Zw/??Tq b  
6. 測試速度：    小于 15 s l#w0-n%S  
7. 光斑直徑：    小于 50 nm *l0i}"T^_  
應用實例，上海***研發(fā)中心2007年成功引進SCI的FilmTek™2000。 JE$$6X  
詳細信息請電話或郵件聯(lián)系EMD上海辦事處或前往SCI網站查詢，聯(lián)系方式如下： o@} qPvt0  
電話021-61021226轉820/818    王小姐/陳先生 $m+Pl[s  
郵件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Hb^ovc0   
SCI 網址：http://www.sci-soft.com NX]6RZr-