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EMD代理美國SCI高精準薄膜度量 系統(tǒng) 與 軟件分析 產(chǎn)品 ; )@~  
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美國SCI為世界薄膜度量系統(tǒng)和分析軟件行業(yè)的領軍者， VTY 5]|;  
其產(chǎn)品廣泛應用于半導體，OLED/LCD, 光電，數(shù)據(jù)存儲，顯示器，微型機電系統(tǒng)以及光附膜產(chǎn)業(yè)，SCI的薄膜特性度量系統(tǒng)品種豐富，從臺式研發(fā)設備到全自動生產(chǎn)工具以及分析/設計軟件應有盡有。 R8Fv{7]c  
1)    Film Wizard™ 軟件 : 市面上功能最強大的，多用途，界面友好的薄膜測試模擬軟件 ~U&AI1t+J  
應用實例，目前已經(jīng)有多套Film Wizard™軟件應用于中國光電，半導體行業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)行業(yè)。 @<EO`L)Z  
2) FilmTek™ 系統(tǒng): 為SCI出產(chǎn)的基于分光光度技術的度量系統(tǒng)，有多種不同配置，配合不同需求. oQ[f,7
u  
1.多層厚度（1Å 到 250 microns） x7<K<k;s  
2.折射率n u <v7;dF|s  
3.吸收系數(shù)k =$JET<(  
4.雙折射率 60?%<oJ oH  
5.能隙（Eg） k>si5'W  
6.表面粗糙度和損傷 7n<::k\lb  
7.多孔性，薄膜成份，結晶度（EMA模式） FP4P|kl/9'  
8.薄膜溫度特性 #BH*Z(  
9.晶元曲率和薄膜耐壓性 "'?>fe\qG  
技術參數(shù) T'Dv.h  
1. 厚度測試范圍: 1Å to 250 microns -;WGS