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EMD代理美國(guó)SCI高精準(zhǔn)薄膜度量系統(tǒng)與軟件分析產(chǎn)品，美國(guó)SCI為世界薄膜度量系統(tǒng)和分析軟件行業(yè)的領(lǐng)軍者，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，光電，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，顯示器，微型機(jī)電系統(tǒng)以及光附膜產(chǎn)業(yè)，SCI的薄膜特性度量系統(tǒng)品種豐富，從臺(tái)式研發(fā)設(shè)備到全自動(dòng)生產(chǎn)工具以及分析/設(shè)計(jì)軟件應(yīng)有盡有。 QIWfGVc-  
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FilmTek™，為SCI出產(chǎn)的基于分光光度技術(shù)的度量系統(tǒng)，有多種不同配置，配合不同需求，可通過反射，透射，多角度反射，橢圓分光，偏振等方式測(cè)量多層或單層，感光層材質(zhì)可為金屬，半導(dǎo)體，非晶體，水晶，絕緣體的薄膜，光源旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償以及組合型分光系統(tǒng)配以常規(guī)入射反射計(jì)可獲得最佳的測(cè)量效果，對(duì)于極薄型以及博厚型薄膜可同時(shí)測(cè)量：  Qk)E:  
1.多層厚度（1Å 到 250 microns） J+:gIszsWT  
2.折射率n !\hUjM+(}  
3.吸收系數(shù)k !zR1CM  
4.雙折射率 `iQ9
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5.能隙（Eg） 6E))4 lW  
6.表面粗糙度和損傷 9l&4mt;+&<  
7.多孔性，薄膜成份，結(jié)晶度（EMA模式） "
T~ce@  
8.薄膜溫度特性 Oe_*(q&  
9.晶元曲率和薄膜耐壓性 XPfheV G  
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應(yīng)用實(shí)例，上海***研發(fā)中心2007年成功引進(jìn)SCI的FilmTek&#8482;2000。 #[ TOe  
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