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Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從入門到精通	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從基礎(chǔ)到實(shí)踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來的成像革命

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[推薦]超精密加工表面微觀形貌的光學(xué)測量方法 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2008-07-08

一、概述

機(jī)械零件的表面加工質(zhì)量不僅直接影響零件的使用性能，而且對產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性及壽命也至關(guān)重要。隨著超精密加工技術(shù)的飛速發(fā)展，超精密加工表面的微觀形貌測量已成為超精密加工領(lǐng)域中亟待解決的關(guān)鍵課題。