畢樹生　宗光華  摘自：中國機(jī)械工程 sS-W~u|C  
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微機(jī)械電氣系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)這一前沿技術(shù)主要涵蓋以下研究專題：①集成化微型儀器與傳感器；②微加工與測試技術(shù)；③微操作系統(tǒng)。 nDyvX1]  
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微操作系統(tǒng)作為MEMS研究領(lǐng)域的一個重要分支受到各發(fā)達(dá)國家的高度重視，紛紛投入大量資金進(jìn)行微操作機(jī)器人系統(tǒng)的研究，現(xiàn)已研制出多種各具特色的微操作機(jī)器人實(shí)驗(yàn)樣機(jī)系統(tǒng)［1］。 T_uNF8Bh  
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自1993年起，在國家自然科學(xué)基金資助下，北京航空航天大學(xué)開始從事微操作機(jī)器人的研究，研究內(nèi)容主要集中于各單元技術(shù)。經(jīng)過幾年的技術(shù)儲備，研究重點(diǎn)開始由各單元技術(shù)轉(zhuǎn)向系統(tǒng)集成及應(yīng)用，如微操作系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型、微動仿生機(jī)構(gòu)綜合理論、基于圖像的視覺伺服理論、精細(xì)微操作系統(tǒng)的光-機(jī)-電集成設(shè)計(jì)方法等，并把生物工程作為微操作機(jī)器人系統(tǒng)的主要應(yīng)用領(lǐng)域。 mPckf  
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把生物工程作為微操作機(jī)器人的應(yīng)用領(lǐng)域，目的可以解釋為2點(diǎn)：①從應(yīng)用層面說，目標(biāo)相當(dāng)明確地界定在“面向生物工程”上，如細(xì)胞操作、基因轉(zhuǎn)移、染色體切割等，希望給下一世紀(jì)中國的“綠色革命”帶來推動作用。②從技術(shù)層面說，定位在基于顯微視覺全局閉環(huán)的計(jì)算機(jī)伺服自動協(xié)調(diào)作業(yè)上。長遠(yuǎn)觀之，其相關(guān)技術(shù)與微加工、微電子、顯微醫(yī)學(xué)等可觸類旁通。 /.7$`d  
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1　微動并聯(lián)機(jī)器人［2］ +d@v AxP  
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“微動并聯(lián)機(jī)器人的研制”課題研制了1臺六自由度微動機(jī)器人，以其為核心建立了一套包括三自由度粗動平臺、顯微視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及周邊輔助設(shè)備的實(shí)驗(yàn)平臺，并重點(diǎn)圍繞微操作機(jī)器人的機(jī)構(gòu)選型、誤差分析、顯微視覺及系統(tǒng)標(biāo)定等方面做了較深入的研究。具體闡述如下： hN& yc  
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(1) 通過對國內(nèi)外微動機(jī)構(gòu)的分析與綜合，設(shè)計(jì)出了創(chuàng)意獨(dú)特、兩級解耦的串并聯(lián)微動機(jī)器人，這在微動機(jī)器人領(lǐng)域尚屬首例。 wDB
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此串并聯(lián)微動機(jī)器人有六個自由度,由上(3RPS機(jī)構(gòu))、下(3RRR機(jī)構(gòu))兩機(jī)構(gòu)并聯(lián)串接而成［2］，它具有上下機(jī)構(gòu)運(yùn)動解耦，運(yùn)動學(xué)、動力學(xué)及誤差分析簡便，控制成本低，加速度大，可完成粗調(diào)、細(xì)調(diào)2種功能等特點(diǎn)。其具體技術(shù)指標(biāo)如下：外形尺寸為100 mm×100 mm×100 mm，工作空間為40 μm×40 μm×24 μm，運(yùn)動分辨率為0.2 μm。 2_Pz^L  
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