【技術(shù)深析】藍(lán)寶石高精密非古典法加工:如何實(shí)現(xiàn)亞微米級面型精度與效率突破?
發(fā)布:和宸晶體科技
2025-02-04 11:58
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YWXY4*G Y!K5?kk 一、行業(yè)痛點(diǎn):傳統(tǒng)加工法的桎梏 ]w+n39da qIC9L"I 藍(lán)寶石(α-Al₂O₃)因其超高硬度(莫氏9級)、抗熱沖擊性和光學(xué)透性,被廣泛用于激光窗口、紅外光學(xué)元件等領(lǐng)域。然而,傳統(tǒng)加工方法面臨兩大瓶頸: CU7WK}2h2C - !gKz=-C
效率低下:機(jī)械研磨拋光耗時(shí)長達(dá)數(shù)小時(shí)/片,且刀具磨損嚴(yán)重(金剛石砂輪損耗率≥30%); -
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面型精度限制:傳統(tǒng)法易引入亞表面損傷(SSD),導(dǎo)致表面粗糙度Ra>2nm,面型精度PV值難以穩(wěn)定控制于λ/10@632.8nm以下。
[l7 G9T}/[ &{5v[:$ 二、非古典法加工原理與技術(shù)突破 8do7`mN RaBq@r*( MB:VACCr VOY#Y*)g 1. 技術(shù)定義 `-J$7)d@ ^G*zFqa+` 非古典法(Non-conventional Machining)指通過能量束(離子/激光/等離子體)或化學(xué)作用,實(shí)現(xiàn)原子級材料去除,避免機(jī)械應(yīng)力損傷。 *Bj7\8cKC {f12&t
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