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訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來(lái)的成像革命

[求助]AR膜中間脫膜 [復(fù)制鏈接]

在線(xiàn)飛奔的牛

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 01-22

6層膜，GE/ZNS/ GE/ZNS/ GE/ZNS,膜層在ZNS之后鍍GE脫膜，晶圓經(jīng)過(guò)劃成小片，邊緣出現(xiàn)中間膜層脫膜。想求助一下是什么原因
目前懷疑是ZNS+GE之間膜層結(jié)合力不好

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