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    [求助]AR膜中間脫膜 [復制鏈接]

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    在線飛奔的牛
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 01-22
    6層膜，GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜層在ZNS之后鍍GE脫膜，晶圓經(jīng)過劃成小片，邊緣出現(xiàn)中間膜層脫膜。想求助一下是什么原因 </@5>hx/  
    目前懷疑是ZNS+GE之間膜層結(jié)合力不好 N)Q.P'`N  
     
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