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本文主要講如何查看光學(xué)系統(tǒng)的衍射強(qiáng)度。在SYNOPSYS中查看光學(xué)系統(tǒng)的衍射強(qiáng)度通常會直接使用PSF，同時(shí)也會用到DIFF指令。 ? &o2st 首先，我們打開鏡頭文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’，在像質(zhì)分析功能中選擇PSF： a#cCp E
鏡頭文件 請聯(lián)系工作人員獲取 1-8mFIK
F&4rO\aC"/ 此刻可以看到相關(guān)的衍射強(qiáng)度圖。 }MJy
+Z8&
^n*)7K[
那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢？它是在查看衍射鏡頭時(shí)經(jīng)常用到的一個(gè)指令，類似于一個(gè)點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)，例如，我們要檢查10以內(nèi)的艾里斑直徑，這時(shí)就會用到DIFF這個(gè)指令。我們打開鏡頭文件：‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 "@e3EX7h
Sj%u)#Ub 得到如上圖所示鏡頭結(jié)構(gòu)圖和鏡頭文件。然后重新創(chuàng)建一個(gè)宏文件并輸入DIFF指令， kvL=>
A 保存為：‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 @E&J_un
宏文件 請聯(lián)系工作人員獲取 Go 5J%&E9 )Kc<j!8- [ m|SUV 接下來我們就得到了這樣一張二維衍射強(qiáng)度圖： wcrCEX=I>{
t URu0`]( 可以用有以下指令獲得沿單線穿過中心軸上場的衍射圖樣，同樣以80%的遮擋為例。重新創(chuàng)建一個(gè)宏文件并輸入：并保存為：‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’，宏文件 請聯(lián)系工作人員獲取 LC,F
<>w1 3+) J
@(a VQc_|z_ s 可以得到這樣一張衍射強(qiáng)度圖，如圖所示艾里衍射環(huán)很明顯。
(ZS}G8
G?L HmTHg 在DIFF中加入log可以查看衍射強(qiáng)度的對數(shù)圖，并保存為：‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’宏文件 請聯(lián)系工作人員獲取 pR*VdC _mY
Km qMFB62 然后可以得到這樣一張衍射強(qiáng)度圖，如下圖所示，遠(yuǎn)離中心的微弱條紋顯示出一個(gè)低價(jià)紋波，這是一個(gè)環(huán)隙寬度孔徑的艾里斑衍射大小的函數(shù)。 F%@A6'c
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