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    [技術(shù)]光學測量系統(tǒng)的分析與公差 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-11-21

    VirtualLab Fusion 軟件可以對光學測量系統(tǒng)進行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。

    很多光學測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有:

     干涉儀

     光譜儀&單色儀

     表面計量系統(tǒng)

    VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應、干涉效應以及時間和空間相干性為特點。VirtualLab的場追跡引擎進行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時考慮了這些物理光學效應。

    VirtualLab Fusion軟件的特性

     基于物理光學的計量系統(tǒng)仿真

     包含部分相干和衍射效應

     尤其對傾斜和偏移的公差分析

     真彩色獲取

     便于使用的位置概念

     干涉條紋的計算

     測繪掃描系統(tǒng)的仿真

     全譜段高分辨率分析

    用于表面拓撲測量的白光邁克爾遜干涉儀的仿真。整個系統(tǒng)中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。

    試用軟件和應用示例

    如果對更多信息感興趣,請通過 support@lighttrans.com 或通過VirtualLab Fusion試用版結(jié)合我們提供的應用示例開展你的實驗工作:

     MSY.0001: 使用相干光的馬赫澤德干涉儀仿真。(download)

     MSY.0002: 白光邁克爾遜干涉儀的仿真。(download)

     MSY.0003: Czerny-Turner單色儀和光譜儀。(download)

     立即下載VirtualLab Fusion試用版

    測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1)

    相干光馬赫澤德干涉儀的仿真

    應用示例簡述

    1. 系統(tǒng)說明

    光源

    — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m)

     組件

    — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡

     探測器

    — 干涉條紋

     建模/設(shè)計

    光線追跡:初始系統(tǒng)概覽

    — 幾何場追跡加(GFT+):

     由于白光的部分相干性致使條紋對比度降低。

     在高度掃描的同時光強發(fā)生改變。

    2. 系統(tǒng)說明

    3. 建模/設(shè)計結(jié)果

    4. 總結(jié)

    馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算

    1. 仿真

    以光線追跡對干涉儀的仿真。

    2. 計算

    采用幾何場追跡加引擎以計算干涉圖樣。

    3. 研究

    不同對齊誤差在干涉圖上的影響,如傾斜和偏移

    利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。

    測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1)

    白光邁克爾遜干涉儀的仿真

    應用示例簡述

    1. 系統(tǒng)說明

     光源

    — 氙氣燈(部分相干白光)

     組件

    — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測繪樣品

     探測器

    — 表現(xiàn)出不同的干涉效應的強度分布

     建模/設(shè)計

    — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽

    — 幾何場追跡加(GFT+):

     由于白光的部分相干性,條紋的對比度降低了

     當進行高度掃描時,光強發(fā)生了變化

    2. 系統(tǒng)說明

    3. 建模/設(shè)計結(jié)果

    4. 總結(jié)

    研究了邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案并應用于高度輪廓掃描

    1. 仿真

    用光線追跡對干涉儀的仿真。

    2. 計算

    采用幾何場追跡+引擎以計算干涉圖樣。

    3. 研究

    測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量

    利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。

    測量系統(tǒng)(MSY.0003 v1.1)

    Czerny-Turner單色儀&光譜儀的仿真

    應用示例簡述

    1. 系統(tǒng)說明

     光源

    — 參考平面波(單色)

    — 鈉燈(具有鈉的雙重特性)

     組件

    — 光闌(狹縫),拋物面反射鏡,閃耀光柵

     探測器

    — 功率

    — 視覺評估

     建模/設(shè)計

    — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽

    — 幾何場追跡+(GFT+):

     窄帶單色儀系統(tǒng)的仿真

     為解決特定光譜曲線進行全光譜的高分辨率分析

    2. 系統(tǒng)說明

    3. 系統(tǒng)參數(shù)

    4. 建模/設(shè)計結(jié)果

    總結(jié)

    Czerny-Turner單色儀的實現(xiàn)與分析及其在光譜研究中的應用。

    1. 仿真

    以光線追跡對單色儀核校。

    2. 研究

    應用經(jīng)典場追跡和幾何場追跡+引擎對系統(tǒng)的性能進行研究。系統(tǒng)分析中包括采用傅里葉模態(tài)法進行光柵效率的嚴格分析。

    3. 應用

    應用現(xiàn)實的Czerny-Turner單色儀分辨了鈉燈的雙波長特性

    可以通過使用VirtualLab對復雜的光譜系統(tǒng),比如Czerny-Turner進行詳盡的研究。

     
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