VirtualLab Fusion 軟件可以對光學測量系統(tǒng)進行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。
很多光學測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有：
干涉儀
光譜儀&單色儀
表面計量系統(tǒng)
VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進行仿真及公差分析。許多設置都是以衍射效應、干涉效應以及時間和空間相干性為特點。VirtualLab的場追跡引擎進行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時考慮了這些物理光學效應。
VirtualLab Fusion軟件的特性：
基于物理光學的計量系統(tǒng)仿真
包含部分相干和衍射效應
尤其對傾斜和偏移的公差分析
真彩色獲取
便于使用的位置概念
干涉條紋的計算
測繪掃描系統(tǒng)的仿真
全譜段高分辨率分析
用于表面拓撲測量的白光邁克爾遜干涉儀的仿真。整個系統(tǒng)中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。
試用軟件和應用示例：
如果對更多信息感興趣，請通過 support@lighttrans.com 或通過VirtualLab Fusion試用版結合我們提供的應用示例開展你的實驗工作：
MSY.0001: 使用相干光的馬赫澤德干涉儀仿真。(download)
MSY.0002: 白光邁克爾遜干涉儀的仿真。(download)
MSY.0003: Czerny-Turner單色儀和光譜儀。(download)
立即下載VirtualLab Fusion試用版
測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1)
相干光馬赫澤德干涉儀的仿真
應用示例簡述
1. 系統(tǒng)說明
光源
— 氦氖激光器(波長632.8nm；相干長度>1m)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統(tǒng)，位相延遲器，待測球面透鏡
探測器
— 干涉條紋
建模/設計
— 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽
— 幾何場追跡加(GFT+)：
由于白光的部分相干性致使條紋對比度降低。
在高度掃描的同時光強發(fā)生改變。
2. 系統(tǒng)說明
3. 建模/設計結果
4. 總結
馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算
1. 仿真
以光線追跡對干涉儀的仿真。
2. 計算
采用幾何場追跡加引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
不同對齊誤差在干涉圖上的影響，如傾斜和偏移
利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。
測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1)
白光邁克爾遜干涉儀的仿真
應用示例簡述
1. 系統(tǒng)說明
光源
— 氙氣燈(部分相干白光)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測繪樣品
探測器
— 表現(xiàn)出不同的干涉效應的強度分布
建模/設計
— 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽
— 幾何場追跡加(GFT+)：
由于白光的部分相干性，條紋的對比度降低了
當進行高度掃描時，光強發(fā)生了變化
2. 系統(tǒng)說明
3. 建模/設計結果
4. 總結
研究了邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案并應用于高度輪廓掃描
1. 仿真
用光線追跡對干涉儀的仿真。
2. 計算
采用幾何場追跡+引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量
利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。
測量系統(tǒng)(MSY.0003 v1.1)
Czerny-Turner單色儀&光譜儀的仿真
應用示例簡述
1. 系統(tǒng)說明
光源
— 參考平面波(單色)
— 鈉燈(具有鈉的雙重特性)
組件
— 光闌(狹縫)，拋物面反射鏡，閃耀光柵
探測器
— 功率
— 視覺評估
建模/設計
— 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽
— 幾何場追跡+(GFT+)：
窄帶單色儀系統(tǒng)的仿真
為解決特定光譜曲線進行全光譜的高分辨率分析
2. 系統(tǒng)說明
3. 系統(tǒng)參數(shù)
4. 建模/設計結果
總結
Czerny-Turner單色儀的實現(xiàn)與分析及其在光譜研究中的應用。
1. 仿真
以光線追跡對單色儀核校。
2. 研究
應用經典場追跡和幾何場追跡+引擎對系統(tǒng)的性能進行研究。系統(tǒng)分析中包括采用傅里葉模態(tài)法進行光柵效率的嚴格分析。
3. 應用
應用現(xiàn)實的Czerny-Turner單色儀分辨了鈉燈的雙波長特性
可以通過使用VirtualLab對復雜的光譜系統(tǒng),比如Czerny-Turner進行詳盡的研究。
