1.摘要 ar'VoL}  
%s5(''a.  
白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 a@9W'/?igk  

O-pH~E  
3j[<nBsn.  
:uqEGnEut  
2. 建模任務(wù) kQ_Vj7  
EG_P^<z  
$]W*;MTI}  
9"L!A,&'  
3. 干涉條紋的變化 c=a;<,Rzb  
_{}^]ZB  
Q&@<?K9  
zWhzU|=8  
4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion Cv&>:k0V  
`r}a:w-  
hv#LKyp%  
vS:=%@c>ta  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 <]#_&Na  
_W,?_"[R=  

• 輸入場(chǎng)設(shè)置

• 基本光源模型[視頻教程]

• 定義元件的位置和方向

• 光路圖II：位置和方向[視頻教程]

• 正確設(shè)置非序列追跡通道

• 非序列追跡的通道設(shè)置[使用案例]

• 使用“參數(shù)運(yùn)行”檢查影響/變化

• “參數(shù)運(yùn)行文件”的使用[使用案例]

-- IewW  
4{ZVw/VP,-  
6. VirtualLab Fusion 技術(shù)