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摘要 -;}Wm[
T*m21< 可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結構在不同配置下的性能。 1CbC|q 1~Nz6
M .,|cx 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) m='OnTeOE M &J*I 建模任務 2lRZ/xaF%P 7f>n`nq?
d@hJ=-4 kWFR(J&R 單次FMM仿真結果 uypD`%pC X*KT=q^?n
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