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具有直壁或傾斜側壁的二元光柵已成為許多光學應用中的關鍵部件。 感謝納米壓印技術,使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。 VirtualLab Fusion采用內置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的優(yōu)化算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應。 %d
/]8uO 9|K:\!7 高效偏振無關透射光柵的分析與設計 4UN|`'c &C#?&AQ ~b[5}_L=> 我們演示了如何嚴格分析二元光柵的偏振相關特性; 以及如何優(yōu)化二元結構以獲得高偏振無關的衍射效率。 kAW2vh w~n+hhMF 傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與公差分析 DH.CAV H<qz
rO i3>_E <"9 利用傅立葉模態(tài)法(FMM)優(yōu)化傾斜光柵,以實現(xiàn)將光耦合到波導中的高衍射效率。 分析制造公差,如圓形邊緣。 wid
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